安徽譜純 貨源足(圖)-特種氣體公司-濟(jì)南特種氣體：

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特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

其現(xiàn)場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機具的準(zhǔn)備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗收

CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除，電子特種氣體，本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗，研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題，使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段，較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，特種氣體廠家，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，濟(jì)南特種氣體，以上分類存在交叉，特種氣體廠，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

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